次世代半導体・パワー半導体製造装置供給能力強化計画

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製品案内に並ぶのは金属ベローズで、溶接ベローズと成形ベローズ、フレキシブルチューブが続く。真空バルブには角型と丸型のゲートバルブを置き、真空機器の側は直進導入機や回転導入機、超高真空ポンプまで揃える。ゲートバルブは半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置で、基板の投入口や二つの真空チャンバーの間に入る仕切り弁だとし、無摺動を設計の思想に据えたものや、パーティクルフリーと高いシール性の両立を挙げる。計画名は、その半導体製造装置へ向けた供給の力を強くすると掲げる。装置の内側で動いて封じる部品を担ってきたことが、この計画を下支えしている。一般に、真空を仕切る弁は、閉じたまま止まっていることより、開け閉めを繰り返しても粉を出さないことが問われる。擦れる場所を減らす設計はそのための道筋で、蛇腹の耐久がそのまま装置の動く時間へ跳ね返る。

出典: 入江工研株式会社（公式サイト） — 会社概要･沿革｜金属ベローズ・真空バルブ・真空機器開発の入江工研(事業者の公表情報) / 入江工研株式会社（公式サイト） — 真空バルブ｜金属ベローズ・真空バルブ・真空機器開発の入江工研(事業者の公表情報)