半導体洗浄装置向け超高性能オゾン発生放電体の開発および製造販売

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気体に高い電圧をかけて放電させ、オゾンを作る装置は、電極と誘電の材料、隙間の寸法で効率が変わる。一般に、放電の熱が上がるとオゾンは壊れるため、冷やす経路の設計が性能の要点になる。一般には、原料の気体に含まれる水分が電極を傷めるので、乾かす前処理が寿命に効く。半導体の洗浄へ向ける用途では、混ざる不純物の少なさと出力の安定が求められ、部材の材質と作り方の管理が厳しくなる。計画の表題からは試作から起こす型と見てよい。