大型部品の高精度化技術確立による半導体製造装置分野への進出

AI解説保有する公表データから自動生成しています。 解説の読み方と注意 →

大きな部品を高い精度で仕上げる作業では、削る力より、熱と自らの重さによる形の動きのほうが効いてくる。一般に、寸法が伸びるほど加工の間の温度差が形の誤差として残りやすく、室の温度を保つことと、測る場所を決めておくことが同じくらい重んじられる。半導体を作る機械へ向かう部材では、面の平らさや穴の位置に厳しい条件が並ぶとされる。手持ちの削る技をその条件へ合わせて組み直すのが、計画名の指す方向にあたる。